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產品資料

EBARA ESA系列 真空泵維修

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: EBARA ESA系列 真空泵維修
產品型號: ESA25-D
產品展商: EBARA真空泵維修
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESA25-D真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口,物美價廉。 歡迎來電垂詢EBARA ESA25-D真空泵維修價格。


EBARA ESA系列 真空泵維修  的詳細介紹

EBARA ESA25-D真空泵維修


ESA系列是新研發的獨特干式真空泵,具有優越的高速排氣性能,從而適應了LCD濺射制膜裝置,真空干燥制程,大型

L/L等工藝要求。并擁有高附加價值,對應氣體負荷自動控制轉速,高通信功能等。
● *適用于大型真空反應室的高速排氣       
● 具有高性能通信機能
● 轉速自動調節功能               
● 采用高度控制泵運轉方式
● 采用大口徑轉子,設計上上乘小型          
● 不產生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規格

ESA Series
Specifications Unit ESA25S ESA70W ESA200W ESA300W ESA500W
Pumping Speed 50/60 Hz CFM 88/106 274/296 706 1060 1766
L/min 2500/3000 7000/8400 20000 30000 50000
M3/Hr 150/180 420/504 1200/504 1800 3000
Ultimate Pressure 50/60 Hz mTorr 3.98*10-5/3.00*10-5 3.00*10-6/2.03*10-6 3.97533E-06 4 7.5*10-6
Pa 5.3/4.0 0.4/0.27 0.53 0.53 1
mBar 0.053/.04 0.004/0.0027 0.0053 0.0053 0.01
Connection Gas Inlet NW 50 NW 50 NW 80 ISO 100 ISO 100
Gas Outlet NW 40 NW 40 NW 40 NW 40 NW 50
Power at Ultimate Pressure  KW 3.4 7.3 6.7
Maximum Power KW 4 12.5 24.1
Cooling Water Requirements Min. Flow Rate 3.5 3.5 3.5 6 6
L/min
Bearing and Dilution N2 Bearing Seals 11 15 12 5 6
L/min
Cabinet Dimensions inches 35.4 x 15.5 x 19.7 39.3 x 15.7 x 31.5 38.2 x 15.7 x 31.9 43.7 x 24.4 x 35.6 60.5 x 24.4 x 41.1
LxWxH  mm 900 x 394 x 500 997 x 400 x 800 970 x 400 x 810 1110 x 620 x 905 1537 x 620 x 1045
Weight lbs 528 836 902 1543 1650
kg 240 380 410 700 750
蘇州曼特萊精密電子有限公司主營:
一、進口真空泵維修
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原):ESA系列、EST系列、ESR系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESA25-D真空泵維修等
6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
蘇州曼特萊精密電子有限公司熱忱歡迎您的到來,歡迎來電垂詢EBARA ESA25-D真空泵維修價格。


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